真空燒結爐操作流程
來源：網絡 | 發布時間：2024-09-21 |
真空燒結爐是指在真空環境中對被加熱物品進行保護性燒結的爐子，其加熱方式比較多，如電阻加熱、感應加熱、微波加熱等。
一、真空燒結爐操作流程
1、通電前檢查
通電前，檢查各開關是否放在（關）位，升溫方式為“手動”，功率調節逆時針旋到頭（低）。確認無誤后再根據工藝要求的順序來啟動機械泵、擴散泵。
2、測量爐內真空度
根據真空計的操作進行，當達到要求的真空度時，才能加熱升溫。
3、抽真空
緊閉所有的真空閥門，啟動機械泵，待其運轉正常后，打開通向爐體的低真空閥，預先對爐體抽氣，此閥打開時應緩慢，以免機械泵排氣口處有油噴出。
4、打開真空閥
爐體抽真空的同時，打開真空閥，對擴散泵抽氣，當真空度達到15Pa后，先開啟擴散泵上的冷卻水，然后對擴散泵加熱，一般經過45分鐘左右擴散泵起作用，就可關上通向爐體的真空閥，打開真空閥，真空度很快可以達到1.33×10-1Pa以上，即可對電爐通電加熱。
5、加熱
次加熱因放氣較多，真空度容易下跌，另外工件加熱放氣也使真空下跌，所以要慢慢升溫真空度下跌到1.5帕停止加熱，等真空度回升到0.5帕以上再慢慢加熱。因擴散泵低于20帕就無法工作，另外擴散泵油在太低真空下易氧化，導致擴散泵無法作用。也可在低真空下加熱除氣，等放氣基本結束，再開高真空。另外電爐在不用時抽真空狀態下保存，下次抽氣快些。欲停止抽真空，應先關閉高真空閥，然后停止加熱，1個半小時后，關閉低真空閥，停止機械泵運轉，只有在擴散泵冷卻之后，才切斷其冷卻水供應。
6、手動升溫
在爐溫200℃以下先用手動方式升溫，否則控溫不準。在真空狀態下按加熱啟動按鈕，緩慢調節手動功率（順時針方向），使電流慢慢上升，禁止超過次額定電流1100A，電爐溫度隨之上升。1000-2000℃，可采用紅外自動控制爐溫。
7、降溫
降溫可按預先設定的程序控制降溫，也可直接把加熱關閉讓其自行降溫。但降溫過程中不允許停水，否則爐體密封圈會燒壞。
二、真空燒結爐操作注意事項
1、電爐外表應經常保持整潔，不用時應保持真空，否則下次使用會導致抽真空率降低。
2、真空爐及真空系統使用半年左右應對軸向密封部位加注真空密封脂，軸向密封指觀察窗擋板座、氣動真空蝶閥等部位。
3、自動進出熱電偶系統在使用半年后應旋開熱電偶座加注擴散泵油。
4、真空爐的觀察窗玻璃在使用爐后應卸下清潔。
