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真空燒結爐遇到3種情況的應急措施

來源：成都新德南光機械設備有限公司 | 發布時間：2021-03-13 |

真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體保護燒結及常規燒結，是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備，它設計構思新穎，操作方便，結構緊湊，在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。

一、停電  

1、停電時，如果斷水，應立即接通備用的冷卻水，接通水源。  
2、如果在非升溫、加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，繼續運轉如需要較長時間，則將設備保持原狀。  
3、如果正在加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，如果需要較長時間時，則保持原狀，讓設備自然冷卻下來。 

二、加熱電源掉電  

1、水壓低，當水壓低于0.15MPa，壓力表報警。  
2、接地故障。  
3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。  
4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發生放電)。電源出現故障，掉電的原因可以認為由于電介質擊穿而引起的放電。  

三、充氣氣體停止  

1、抽真空開始前，氣體充入時間長或者無法充入時，請確認氣體管路是否被堵塞。  
2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關聯的設備要全部停止后再進行檢查。
3、向真空室內充氣不能停止的情況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要關閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。  
4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會影響制品質量。