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真空爐中常用的幾種真空系統

來源：成都新德南光機械設備有限公司 | 發布時間：2016-06-26 |

一、真空熱處理爐的真空系統的三個基本要求
　　1)能迅速地將真空熱處理爐的真空度抽到規定的要求。
　　2)能及時排出被處理工件和爐內構件所釋放出的各種氣體，以及因真空泄漏而滲入爐體內的氣體。
　　3)真空機組占地面積小，運行安全可靠，操作簡便。
二、真空系統的組成
　　真空熱處理爐的真空系統通常由真空獲得設備(真空泵機組)、控制真空組件和測量真空組件所組成。
　　1)真空泵機組。根據爐子工作壓力和抽氣量的大小，分別選配不同的低真空泵、中真空泵、高真空泵和超高真空泵。
　　2)真空組件或元件。在真空爐體和真空泵機組之間配備的各種真空組件或真字元件，如管路、密封圈、法蘭、波紋管、冷阱、過濾器和閥門等。
　　3)真空測量系統，如真空規管、真空壓力表和其他真空測量儀表。
　　4)真空檢漏儀器、真空控制儀器、充氣裝置等。
　　真空爐品種多，對真空系統的要求也不一樣。就單真空度而言，有低真空、中真空和高真空系統。目前大多數真空熱處理爐的工作真空度在1.33~1.33×10ˉ3Pa。下面為您介紹真空爐常用的低中高真空系統。
　　1.低真空系統
　　低真空系統適用于真空度在2～1333Pa范圍的真空熱處理爐，如預抽低真空井式爐。大多以油封式旋轉機械泵為主泵。
　　2.中真空系統
　　中真空系統適用于真空度在3 
X10～～1.333Pa范圍的真空熱處理爐。中真空系統在真空熱處理爐中應用最廣泛，其通常由兩級真空泵機組組成。初級泵多采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵，主泵為機械增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵。
　　3.高真空系統
　　高真空系統適用于真空度在6.6×10～～1.333 X 
10。Pa范圍的真空熱處理爐，如真空退火爐、真空釬焊爐，通常由三級真空泵機組組成，主泵通常采用油擴散泵、離子泵，初級泵大都也是采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵。